Stroj na pokovovanie

Všetky výhody procesu PVD povlakovania, ktorý produkuje niektoré z najtvrdších, najbrilantnejších a najmodernejších technológií našej doby, od mikročipov až po solárne panely, nie sú dôležitejšie ako skutočnosť, že povlaky PVD možno aplikovať bez toxických zvyškov alebo vedľajších produktov. ktoré zhoršujú životné prostredie našej planéty.

Craft of Metallizing lakovací stroj

Koncepcia procesu nanášania naprašovaním

Takzvaný naprašovací povlak znamená bombardovanie terča energetickými časticami (ako sú kladné ióny) vo vákuovej komore tak, že atómy alebo atómové skupiny na povrchu terča unikajú a uniknuté atómy vytvárajú film na povrchu terča. obrobok s rovnakým zložením ako cieľ. Tento spôsob prípravy tenkých vrstiev sa nazýva naprašovanie. V súčasnosti sa naprašovanie používa hlavne na vytváranie kovových alebo zliatinových tenkých vrstiev, najmä na výrobu elektród elektronických súčiastok a infračervených reflexných vrstiev na sklenených povrchoch. Okrem toho sa naprašovanie používa aj na prípravu funkčných tenkých vrstiev, ako sú priehľadné vodivé keramické tenké filmy In2O3-SnO2 pre zobrazovacie zariadenia s tekutými kryštálmi.

Existujú dva spôsoby naprašovania: jeden sa nazýva naprašovanie iónovým lúčom, čo znamená bombardovanie cieľového povrchu iónovým lúčom vo vákuovom stave, takže naprašované častice vytvárajú film na povrchu substrátu. Tento proces je pomerne drahý a používa sa hlavne na prípravu špeciálneho Theother sa nazýva katódové naprašovanie, ktoré využíva hlavne fenomén nízkotlakového výboja plynu, takže ióny v plazmovom stave bombardujú povrch terča a naprašované častice sa ukladajú na Má elektródovú štruktúru s paralelnými doskami, veľkoplošným terčom vyrobeným z membránového materiálu je katóda a substrátom podopierajúcim základňu je anóda, ktorá je inštalovaná vo vákuovej nádobe typu zvon. Aby sa znížilo znečistenie, tlak vo zvonovej nádobe sa najskôr prečerpal na menej ako 10-3~10-4Pa a potom sa naplnil Ar, aby sa udržal tlak 1~10Pa. Medzi oboma elektródami sa na naprašovanie aplikuje napätie niekoľko tisíc voltov.

V porovnaní s odparovacím povlakom nemá cieľový materiál (filmový materiál) žiadny fázový naprašovací povlak, zloženie zlúčeniny je stabilné a zliatina sa nedá ľahko frakcionovať, takže filmový materiál vhodný na prípravu je veľmi široký. Pretože energia častíc nanesených na substráte rozprašovaním je 50-krát vyššia ako energia vyparovania, majú za následok čistenie a zahrievanie substrátu, takže vytvorený film má silnú priľnavosť. Predovšetkým, naprašovaním sa dá ľahko kontrolovať zloženie filmu. Priamym naprašovaním alebo reaktívnym naprašovaním možno pripraviť rôzne zliatinové filmy, zložené filmy, viacvrstvové filmy a kompozitné filmy s veľkými a rovnomernými plochami. Naprašovanie je ľahko realizovateľné, kontinuálna, automatizovaná prevádzka a výroba vo veľkom meradle. Avšak kvôli použitiu vysokého napätia a plynu počas naprašovania je zariadenie relatívne komplikované, tenký film je ľahko ovplyvnený atmosférou naprašovania a rýchlosť nanášania tenkého filmu je tiež nízka. Okrem toho je potrebné, aby nanášanie naprašovaním vopred pripravilo terče z rôznych komponentov, čo je nepohodlné na nakladanie a vykladanie terča a miera využitia terča nie je príliš vysoká.

Parameter

Aplikácia

Naša spoločnosť

Populárne Tagy: stroj na pokovovanie, Čína, dodávatelia, výrobcovia, továreň, prispôsobené, kúpiť, cena, cenová ponuka