Metóda merania a monitorovania hrúbky filmu moderného vákuového nanášacieho stroja
Mar 29, 2022
Najpriamejšou metódou kontroly povlaku je metóda mikrobalancie kremenného kryštálu (QCM), ktorá môže priamo poháňať zdroj odparovania a cyklovať usmerňovač pomocou regulácie PID, aby sa udržala rýchlosť odparovania. Pokiaľ je prístroj pripojený k riadiacemu softvéru systému, môže riadiť celý proces nanášania. Presnosť (QCM) je však obmedzená, čiastočne preto, že monitoruje skôr kvalitu nanášaného povlaku než jeho optickú hrúbku.
Aj keď je QCM veľmi stabilný pri nižších teplotách, pri vyšších teplotách sa stáva veľmi citlivým na teplotu. Pri dlhšom zahrievaní je ťažké zabrániť tomu, aby snímač spadol do tejto citlivej oblasti, čo spôsobilo značné chyby vo fólii.
Optické monitorovanie je preferovanou metódou monitorovania pre vysoko presné nátery, pretože umožňuje presnejšiu kontrolu hrúbky vrstvy (ak sa používa správne). Zlepšenie presnosti pramení z mnohých faktorov, no najzásadnejším dôvodom je sledovanie optickej hrúbky.
Jednovlnový optický monitorovací systém OPTIMAL SWA-I{1}} využíva nepriame meranie a riadenie v kombinácii s pokročilým optickým monitorovacím softvérom vyvinutým Dr. Wangom na efektívne zlepšenie teórie a metódy citlivosti optickej odozvy na zmeny hrúbky filmu. znižuje konečnú chybu, poskytuje spätnú väzbu alebo výber režimov prenosu a široký rozsah monitorovacích vlnových dĺžok. Je vhodný najmä na monitorovanie náterov rôznych hrúbok filmu vrátane monitorovania nepravidelného filmu.







