Odstredivý lakovací stroj

Strednofrekvenčné naprašovanie je tiež druh magnetrónového naprašovania.

Existuje mnoho typov magnetrónového naprašovania, ktoré možno rozdeliť na jednosmerné magnetrónové naprašovanie, rádiofrekvenčné magnetrónové naprašovanie a strednofrekvenčné magnetrónové naprašovanie podľa použitého zdroja energie. Napájací zdroj používaný pri jednosmernom magnetrónovom naprašovaní je jednosmerný vysokonapäťový zdroj, zvyčajne 300-1000 V, ktorý sa vyznačuje vysokou rýchlosťou naprašovania, nízkymi nákladmi a lacnou údržbou v neskoršom období. Rozprašovať sa však dajú len kovové terče. Ak je terčom izolátor, ako postupuje otryskávanie, terč akumuluje veľké množstvo náboja, čo má za následok neschopnosť pokračovať v otryskávaní. Preto sa na kovové terče zvyčajne používa jednosmerné magnetrónové naprašovanie. Vďaka nízkej cene a jednoduchej štruktúre je široko používaný v priemysle. Frekvencia RF napájacieho zdroja používaného pri RF magnetrónovom naprašovaní je zvyčajne 13,56 MHz, čo môže vyriešiť problém, že DC magnetrónové naprašovanie nedokáže rozprášiť izolačné terče. Charakteristiky RF magnetrónového naprašovania sú: izolačné terče aj kovové terče môžu byť naprašované a adhézia medzi filmom a substrátom je silná. Avšak vzhľadom na zložitú štruktúru a zariadenie, vysokú cenu RF napájacieho zdroja, vysoké náklady na údržbu, vyžarovanie ľudského tela a potrebu externej zodpovedajúcej siete nie je vhodný pre priemyselnú výrobu. Magnetrónové naprašovanie so strednou frekvenciou sa často používa na reaktívne naprašovanie na prípravu vrstiev kovových zlúčenín. Okrem argónu sa do dutiny pridáva malé množstvo reaktívnych plynov, ako je dusík, kyslík atď., aby sa molekuly týchto reaktívnych plynov uložili s atómami cieľového materiálu. na substrát, aby sa vytvoril film z kovovej zlúčeniny. Pretože jednosmerné magnetrónové naprašovanie je široko používané v priemysle, magnetrónový naprašovací stôl obsahuje vákuový systém, systém nanášania naprašovania, plyn a riadiaci systém.

Aplikácia

Parameter

Naša spoločnosť

Populárne Tagy: rotačný lakovací stroj, Čína, dodávatelia, výrobcovia, továreň, prispôsobené, kúpiť, cena, cenová ponuka