Vákuové metalizačné zariadenia

Sú PVD povlaky bezpečné?

Fyzikálne procesy nanášania pár sú ekologicky nezávadná technika alebo technika „pokovovania“, ktorá výrazne znižuje množstvo toxických látok, ktoré sa musia použiť, spravovať a likvidovať v porovnaní s inými „mokrými“ procesmi, ktoré zahŕňajú tekuté prekurzory a chemické reakcie používané na dosiahnutie rovnakého výsledku. . Pretože je schopný produkovať extrémne čisté, čisté a odolné povlaky, je fyzikálne nanášanie pár technológiou voľbou pre odvetvie chirurgických a medicínskych implantátov.

Viete, čo je lakovací stroj? Vzťahuje sa najmä na typ povlaku, ktorý je potrebné vykonať pri vysokom stupňom vákua, vrátane mnohých typov vrátane vákuového iónového odparovania, magnetrónového naprašovania, epitaxie molekulového lúča MBE, nanášania laserovým naprašovaním PLD a mnohých ďalších.

Vákuový systém obsahuje mechanickú pumpu, kryogénnu pumpu, hrubovací ventil, ventil prednej línie, posúvač a vákuomer na detekciu vákua. Počas magnetrónového naprašovania by sa mal vplyv dusíka, kyslíka a vodnej pary na proces minimalizovať, takže stupeň vákua musí byť nižší ako 0,13 mPa ~ 4 Pa. Vo všeobecnosti sa používa výveva Nowdry a kryogénna výveva. Suché čerpadlo sa používa na čerpanie nízkeho vákua. V porovnaní s pôvodným mechanickým olejovým čerpadlom môže zabrániť tomu, aby olej a plyn v olejovom čerpadle vstúpili do vákuovej komory, kontaminovali substrát a znížili priľnavosť medzi filmom a substrátom. Zvyčajne sa po načerpaní suchého čerpadla pod 6,5 Pa otvorí posúvač a kryogénne čerpadlo sa použije na čerpanie vysokého vákua. Kryogénne čerpadlo sa vyznačuje vysokou rýchlosťou čerpania, najmä schopnosť odstraňovať vodnú paru je veľmi silná.

Naprašovací náterový systém pozostáva z jednosmerného napájacieho zdroja, terčového materiálu, chladiacej vody, permanentného magnetu, zariadenia na ohrev substrátu, usmerňovača, tieniacej vrstvy atď. Toto je základná časť magnetrónovej naprašovacej stanice. Zdroj jednosmerného prúdu poskytuje záporné vysoké napätie 300-1 000 V a aplikuje ho na cieľ, takže cieľ je na katóde a substrát na anóde. Chladiaca voda sa používa na chladenie materiálu terča, aby sa zabránilo príliš rýchlemu zvýšeniu teploty terča v dôsledku rozprašovania. Potrubie chladiacej vody by malo byť vyrobené z izolačných materiálov, ako sú plastové rúrky, nie kovové rúrky. Zariadenie na ohrev substrátu môže odstrániť nečistoty, ako je vodná para, na substráte, čo môže zlepšiť priľnavosť medzi fóliou a substrátom. Okrem toho, pre niektoré kovy môže vhodná teplota zlepšiť kvalitu filmu.

Aplikácia

Parameter

Naša spoločnosť

Populárne Tagy: vákuové metalizačné zariadenia, Čína, dodávatelia, výrobcovia, továreň, prispôsobené, kúpiť, cena, cenová ponuka